Piezoelectric actuator with coplanar electrodes

Actionneur piézoélectrique à électrodes coplanaires

Abstract

L'invention concerne un actionneur piézoélectrique qui comporte une membrane en porte-à-faux. Une feuille de film mince est fixée à un côté de la membrane en porte-à-faux pour plier la membrane dans plusieurs directions en réponse à un champ électrique induit dans la feuille de film mince. Plusieurs électrodes coplanaires disposées sur la feuille de film mince sont mutuellement interdigitées pour générer le champ électrique lors de l'application d'une tension aux bornes des électrodes interdigitées.
A piezoelectric actuator includes a cantilever membrane. A thin film sheet is affixed to one side of the cantilever membrane to bend the membrane in multiple directions in response to an electric field induced within the thin film sheet. A plurality of coplanar electrodes disposed on the thin film sheet are interdigitated in relation to one another to generate the electric field during application of a voltage across interdigitated electrodes.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (7)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-H03104647-AMay 01, 1991Seiko Epson CorpInk jet head
    JP-H1022509-AJanuary 23, 1998Omron Corp, オムロン株式会社Sensor device
    US-2002085066-A1July 04, 2002Brother Kogyo Kabushiki KaishaPiezoelectric device for controlling ink ejection and inkjet head for inkjet printer
    US-2003137563-A1July 24, 2003Hongsheng ZhangFluid ejecting device with drop volume modulation capabilities
    US-2008211880-A1September 04, 2008Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.Piezoelectric thin film device and piezoelectric thin film device manufacturing method, and inkjet head and inkjet recording apparatus
    US-2009051740-A1February 26, 2009Susumu HiroshimaInkjet recording system and recording apparatus
    US-6352337-B1March 05, 2002Eastman Kodak CompanyAssisted drop-on-demand inkjet printer using deformable micro-acuator

NO-Patent Citations (1)

    Title
    See also references of EP 2589140A4

Cited By (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    EP-2966700-A1January 13, 2016The Boeing CompanyOrthotropes bimorphelement für verbesserte leistung eines synthetischen strahls
    US-9559287-B2January 31, 2017The Boeing CompanyOrthotropic bimorph for improved performance synthetic jet
    WO-2014182984-A1November 13, 2014Matthews Resources, Inc.Microvalve en porte-à-faux et imprimante à jet d'encre utilisant ladite valve